高速钢刀具镀TiN膜的研究(全球与中国高速钢行业现状调查分析及，)
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高速钢刀具镀TiN膜的研究
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1、目录引言11综述21.1TiN薄膜21.1.1TiN薄膜研究与应用21.1.2影响TiN薄膜微观结构和性能因素21.2TiN薄膜制备技术21.2.1多弧离子镀膜技术的发展及应用21.2.2多弧离子镀工作系统31.2.3多弧离子镀膜的基本原理31.2.4多弧离子镀膜的工艺参数32多弧离子镀TiN薄膜的制备42.1实验材料42.2实验过程52.2.1高速钢纺织刀片的清理52.2.2实验步骤53实验结果及分析63.1TiN镀膜表面及断面形貌观察63.1.1设备：扫描电子显微镜（SEM）63.1.2形貌观察63.2高速钢镀TiN刀片硬度分析73.2.1维氏硬度（HV）测试法73.3高速钢。
4、过渡金属氮化物，NaCl面心立方晶体结构类型。
它的结构是由金属键和共价键混合而成，同时具有金属晶体和共价晶体的特点：高熔点、高硬度、优异的热和化学惰性，优良的导电性和金属的反射比。
此外，TiN薄膜还具有高温强度、优越的耐腐蚀性能以及良好的导热性能。
1.1.1TiN薄膜研究与应用TiN薄膜具有广阔的应用前景，在刀具、模具、装饰材料和集成电路中都具有重要的应用价值和广阔的应用前景，因而越来越受到人们的重视。
随着对TiN薄膜研究的深入，制备TiN薄膜的工艺也得到不断地发展，对TiN薄膜也提出了更均匀、更耐磨、更耐腐蚀和更高可靠性的性能要求。
1.1.2影响TiN薄膜微观结构和性能因素（1。
5、）基体偏压对TiN薄膜沉积速率有影响，沉积速率随着偏压的升高而降低。
对TiN薄膜微观结构有影响，基底偏压较小时，镀膜表面比较粗糙，当偏压增大时，表面均匀，薄膜表面较均匀平整。
对薄膜力学性能有影响，随着偏压的增大，薄膜的硬度值也随之增加。
（2）氮分压随着氮分压的减少，薄膜表面的薄膜颗粒逐渐减少。
薄膜的内应力和薄膜与基底的结合力却逐渐下降。
1.2TiN薄膜制备技术1.2.1多弧离子镀膜技术的发展及应用多弧离子镀技术是离子镀技术的一种改进方法，它是把弧光放电作为金属蒸发源的表面涂层技术，由于多弧离子镀技术具有镀膜速度高，膜层的致密度大，膜的附着力好等特点。
6、，使多弧离子镀镀层在工具、模具的超硬镀膜、装饰镀膜等领域的应用越来越广泛，并占据了越来越重要的地位。
1.2.2多弧离子镀工作系统真空室、阴极弧源、基片、负偏压电源、真空系统、测温系统、供气系统1.2.3多弧离子镀膜的基本原理多弧离子镀采用电弧放电的方法，在固体的阴极靶材上直接蒸发金属，蒸发物是从阴极弧光辉点放出的阴极物质的离子，通过阴极与阳极壳体之间的孤光放电，使靶材离化，形成空间等离子体，并对工件进行沉积镀覆。
如图1-1图1-1多弧离子镀工艺原理1阴极弧源（靶材）；2，3进气口；4真空系统；5基底；6偏压电源1.2.4多弧离子镀膜的工艺参数（1）工作电流靶源电流与弧斑的数目成正比关系。
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